Funkce senzoru je patrná z obr. 8.30. Zrcadlo (Au) o průměru několika mm je chlazeno studenou stranou Peltierova chladicího článku. Podchlazením zrcadla při teplotách plynu nad 0 °C dochází k orosení (při záporných teplotách k ojínění) zrcadla. Prostřednictvím optického systému a prostřednictvím uzavřené zpětné vazby regulátoru proudu je proud do Peltierova článku udržován tak, aby na zrcadle byla konstantní teplota orosení, tj. teplota rosného bodu. Tato teplota se měří miniaturním odporovým nebo polovodičovým senzorem těsně pod středem odrazné plochy zrcadla. Chybu těchto senzorů působí znečišťování zrcadla. Tento problém je řešen vzduchovými filtry a periodickou kalibrací optického přenosu. Někdy se používá i ofukování zrcátka stlačeným vzduchem. V každém případě jsou moderní přístroje vybaveny indikací hraničního znečištění způsobujícího překročení povolené chyby. Místo optické detekce používají některé senzory krystalových mikrováh. Pro měření vlhkosti plynů se dále používá IR spektrometrie, měřičů teplotní vodivosti a dalších principů.
